金刚石基底芯片的新技术路线

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主题:金刚石基底芯片的新技术路线
chaobill|2025-12-02 16:12:52|
不是沉积出超大晶片，而是在气相沉积出芯片面积后做光刻
现在微米级芯片技术上应该可行吧。
当然还要解决掺杂这另一个难题
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