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主题:【请教】有机试剂对硅烷有没有破坏作用?
liuzhen
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2009-06-11 19:52:16
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是光刻试验中用到的东西。
请问丙酮及显影液(IPA/MIBK的混合)会不会破坏硅烷(MPTMS)分子呢?多谢啦!
--
FROM 193.49.161.*
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