单分子层是CVD过程无法控制的吧？
在工艺上有什么考虑？

【 在 edogawa (红莲的蓬莱岛) 的大作中提到: 】
: 好像是原子层气相沉积，反正是能在材料表面形成单分子层的仪器
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我也在疑惑中
如果有答案了，通报一声，谢谢
CVD磊晶过程怎么控制阿？


【 在 nanoTM (Nano technology&Manufacture) 的大作中提到: 】
: 单原子层沉积，
: 有这样的设备玛？
: 那岂不是光吸附就够了
: ...................
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