请问化工系有没有气相沉积的仪器

水木社区手机版

主题:请问化工系有没有气相沉积的仪器
1楼|Plamicro|2004-09-02 00:42:27|展开
单分子层是CVD过程无法控制的吧？
在工艺上有什么考虑？

【在 edogawa (红莲的蓬莱岛) 的大作中提到: 】
: 好像是原子层气相沉积，反正是能在材料表面形成单分子层的仪器
--
FROM 211.96.233.*
3楼|Plamicro|2004-09-02 17:03:15|展开
我也在疑惑中
如果有答案了，通报一声，谢谢
CVD磊晶过程怎么控制阿？

【在 nanoTM (Nano technology&Manufacture) 的大作中提到: 】
: 单原子层沉积，
: 有这样的设备玛？
: 那岂不是光吸附就够了
: ...................
--
FROM 211.96.233.*

BYR-Team©2010. KBS Dev-Team©2011 登录完整版