如果现在举国之力来搞，十年以后应该有些成果吧。希望到那时，国产光刻机和国际一流水平的差距小于一代。
【 在 chaobill 的大作中提到: 】
: 原来X光的光源，掩膜都是问题。 还有第三个问题忘记了。
: 并没有想象的那么容易
: 话说本版某人搞这个吧，都几年了不知道进度如何了
: ...................
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修改:lxku FROM 114.244.129.*
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