28nm还需要用浸没式？干式就可以。
【 在 djkstra 的大作中提到: 】
: 吹牛逼的，芯展我去了，进度压根没有这么快，上海微的人说，用浸没式做28nm没问题，5nm纯属自媒体瞎吹，良率更是没边的事
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