ASML的极紫外光刻机（EUV）的供应商有5000家，其中最主要的是美国、德国、日本、中国台湾的厂商。按照零部件重要性排名，前15名分别为：
1.极紫外光源：美国Cymer公司
2.镜头：德国卡尔蔡司公司
3.光掩膜板：美国Photronics公司
4.机电设备：美国Sparton公司
5.激光器：美国Lumentum公司
6.微激光系统：美国磁谷光刻公司
7.激光设备组配件：美国LMI航空公司
8.污染控制与先进材料：美国Entegris公司
9.离子注入机套件：美国Axcelis公司
10.仪表和控制系统：美国MKS Instruments公司
11.高功率激光材料加工系统：美国贰陆股份公司
12.准分子激光源：日本Gigaphoton公司
13.电子束检测设备：台湾汉微科公司
14.模组模具：台湾公准精密公司
15.高阶线材、PCB与整机组装：台湾信邦电子公司
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