请问为什么接触式光刻机的分辨率只有1微米？

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主题:请问为什么接触式光刻机的分辨率只有1微米？
20楼|yswyx|2010-12-12 01:32:44|只看此ID
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21楼|mcx|2010-12-12 14:30:03|只看此ID
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22楼|samsunm|2010-12-12 18:53:37|只看此ID
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23楼|dtl|2010-12-19 00:10:45|只看此ID
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24楼|samsunm|2010-12-21 05:27:50|只看此ID
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25楼|qingpingzi|2010-12-21 06:27:16|只看此ID
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