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主题:有大牛知道这东西怎么制作出来的吗?
2楼
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Junyang
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2022-12-02 10:20:15
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估计是溅射工艺,
你看厚度是一列一列控制的,估计
mask上面有直径不同的孔,
控制每列孔暴露在溅射中的时间,就可以控制厚度。
具体操作,在设备中另外加一块挡板,溅射一段时间转动一下,挡住第一列,这一列就最薄。
溅射一段时间再转动一下,挡住第二列,第二列就厚一点。
溅射一段时间再转动一下,挡住第三列,第三列就更厚一点。
以此类推,
下一列都比上一列多溅射了一段时间,自然越来越厚。
--
修改:Junyang FROM 39.144.137.*
FROM 39.144.137.*
9楼
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Junyang
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2022-12-02 23:25:37
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溅射的一次性掩膜,不就是光刻胶嘛。曝光一轮而已。固化后作为mask,成本很低。
设备里面有挡板,挡板转动,一列一列步进,一列一列的遮挡住图案。
【 在 datou618 的大作中提到: 】
: 考虑过,但是溅射是不是需要一次性的掩膜,这个成本大概多少呢?
: 我想的是能不能用液体镀膜工艺,类似的,一层一层往外抽,但是电极又不好给
--
FROM 36.170.45.*
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