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主题:Re: 蒸镀和溅射Pt,哪个更致密电阻更小?
lieut77
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2009-08-12 15:11:25
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理论上应该溅射吧
但是实际应用中,两者最后可能都要退火,电阻差别不是那么大?
【 在 kangg (目前要多工作) 的大作中提到: 】
: 最近刚好和人争论不清,请问蒸镀和溅射相比,是不是particle更小,镀层更致密,相同的厚度电阻更小?谢谢!
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