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主题:Re: 请问,cr掩膜与硝酸铈铵&醋酸反应后的生产物是什么,哪里可
c2h2c2h2
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2006-08-30 13:47:28
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就是Cr被氧化成三价的Cr3+离子被
生成的物质是混合物,很复杂
【 在 eplain (eplain) 的大作中提到: 】
: 在刻蚀工艺中,经常要用硝酸铈铵与醋酸的混和液去刻蚀cr掩膜,但不知道这一过程发生
: 了什么样的化学反应,又生成了什么样的物质,我不是学化学的,请问哪里可以查道这以
: 反应的化学反应方程式啊?谢谢~!
: ...................
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