本人是搞微电子方面的，对有机物很外行，现在做的器件中需要用到牺牲层材料，请教各位化学大牛有没有满足下面要求的材料？
a)常温下为固态，一定温度下加热或用溶剂溶解后为液态，但要求能通过某种方式固化，以方便在液态状态下填充到几百微米深的硅条沟槽内固化；
b)可在较高温度比如300度完全汽化或者完全分解不留残渣，或者可以用丙酮或者酒精或别的常用溶剂来溶解，或者酸、碱等腐蚀液来进行腐蚀(在最后采用溶解或汽化等彻底去除前要求能用溶剂溶解或者酸碱腐蚀掉几十微米厚的一薄层，工艺中需要)；
c)成本较低廉，无毒或低毒。
最近也查了一堆有机物，还没找到方便好用的备选材料，也尝试了石蜡，但石蜡没有合适的溶剂来溶解或腐蚀，挺头大的

请大牛们点拨点拨，非常感谢！
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FROM 115.171.206.*

魔酸的酸性太强了，石蜡虽然能被溶解掉，估计硅也被腐蚀掉了……

【 在 tRNA (つばさ) 的大作中提到: 】
: 石蜡不是可以用魔酸来折腾么
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FROM 115.170.221.*

可能不好擦？
我桌子上的石蜡就是喷上乙醇丙酮用力擦才掉
【 在 synsun (顺义南) 的大作中提到: 】
: 石蜡随便找点有机溶剂就清除掉了啊
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FROM 162.105.73.6

其实石蜡完全可以。
选石蜡的时候选主要成分是较短碳链的。2x碳左右的烷烃基本能满足要求，而且常用的二氯甲烷等溶剂很容易溶解掉，支链烷烃更是好溶。
石蜡选成那种4x个c的那就不太好处理了。

本来想直接推荐买个20烷的，熔点低了点，37度，夏天会比较痛苦。
【 在 everyday (每天爱你多一点) 的大作中提到: 】
: 本人是搞微电子方面的，对有机物很外行，现在做的器件中需要用到牺牲层材料，请教各位化学大牛有没有满足下面要求的材料？
: a)常温下为固态，一定温度下加热或用溶剂溶解后为液态，但要求能通过某种方式固化，以方便在液态状态下填充到几百微米深的硅条沟槽内固化；
: b)可在较高温度比如300度完全汽化或者完全分解不留残渣，或者可以用丙酮或者酒精或别的常用溶剂来溶解，或者酸、碱等腐蚀液来进行腐蚀(在最后采用溶解或汽化等彻底去除前要求能用溶剂溶解或者酸碱腐蚀掉几十微米厚的一薄层，工艺中需要)；
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修改:zxfz44 FROM 210.77.26.*
FROM 210.77.26.*

我们因为还考虑以后的生产中大量使用溶解石蜡的溶剂，所以希望该溶剂毒性低、存放安全、价格尽可能低廉
相对于环己烷而言，二氯甲烷应该更合适？

【 在 cyw (囧...) 的大作中提到: 】
: 我们实验室用的工业级石蜡，熔点52度，环己烷很好溶解
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