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主题:蒸镀和溅射Pt,哪个更致密电阻更小?
4楼
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hillhong
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2009-08-25 00:52:27
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三倍,请问测量的误差有多大?
【 在 kangg (目前要多工作) 的大作中提到: 】
: 你是说理论上溅射比蒸镀更致密电阻更小?
: 我上次拿去溅射和蒸镀各10片,都要求100nm厚,结果测的电阻溅射的比蒸镀的大三倍
: 我就怀疑是不是他们没有给我镀够厚度
: ...................
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