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blackknight6 (令狐冲~面壁思过) 于 (Wed Jul 16 19:55:32 2008) 提到:
不知道发这个版合适不合适，问题是这样的，制备了500nm后的铝膜，自然状态下（未加任何保护和防护），铝膜表面肯定会被氧化，那么氧化铝的厚度大约能有多大那？
十分感谢！
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hillhong (aiming 98%) 于 (Wed Jul 16 22:24:12 2008) 提到:
做XPS?
【 在 blackknight6 (令狐冲~面壁思过) 的大作中提到: 】
: 不知道发这个版合适不合适，问题是这样的，制备了500nm后的铝膜，自然状态下（未加任何保护和防护），铝膜表面肯定会被氧化，那么氧化铝的厚度大约能有多大那？
: 十分感谢！
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blackknight6 (令狐冲~面壁思过) 于 (Thu Jul 17 15:46:43 2008) 提到:
不知道XPS是什么，呵呵，我就是镀膜，刻蚀后测透光率，发现和理论分析差别较大，考虑可能是氧化造成的影响，所以才来问问的。
【 在 hillhong (aiming 98%) 的大作中提到: 】
: 做XPS?
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hillhong (aiming 98%) 于 (Thu Jul 17 22:33:43 2008) 提到:
x光电子能谱，Al跟Al2O3信号会明显不同
如果能得到不同深度的信号，应该就可以知道氧化物膜的厚度
【 在 blackknight6 (令狐冲~面壁思过) 的大作中提到: 】
: 不知道XPS是什么，呵呵，我就是镀膜，刻蚀后测透光率，发现和理论分析差别较大，考虑可能是氧化造成的影响，所以才来问问的。
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blackknight6 (令狐冲~面壁思过) 于 (Fri Jul 18 09:57:21 2008) 提到:
哦，谢谢
这个对我来说有点复杂了
我知道大概一个数量级就行了，另外Al2O3应该展现出不明显的金属性质吧（如金属的折射率实部和虚部值都比较大）
【 在 hillhong (aiming 98%) 的大作中提到: 】
: x光电子能谱，Al跟Al2O3信号会明显不同
: 如果能得到不同深度的信号，应该就可以知道氧化物膜的厚度