请教浓硫酸和双氧水混合液是否会破坏硅片上的氨基单分子层呢？

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主题:请教浓硫酸和双氧水混合液是否会破坏硅片上的氨基单分子层呢？
楼主|mimocha|2007-12-13 19:14:53|只看此ID
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1楼|zxliang|2007-12-14 11:06:57|只看此ID
不清楚，不过你可以试下去做红外测试，看氨基有没有被破坏的。

【在 mimocha (mocha) 的大作中提到: 】
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2楼|kygk|2007-12-26 14:37:21|只看此ID
我也很想知道，
我们经常用浓硫酸和双氧水洗硅片
【在 mimocha (mocha) 的大作中提到: 】
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FROM 159.226.228.*

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