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gilberte (~Green_Bean~) 于 (Sat May 6 09:49:57 2006) 提到:
发信人: gilberte (~Green_Bean~), 信区: MEMS
标 题: piranha清洗会不会改变热氧表面性质？
发信站: 水木社区 (Sat May 6 09:49:31 2006), 站内
会不会使热氧二氧化硅表面oh含量剧增？
多谢啦。
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Synthon (合成子·大家可以预定喜糖了) 于 (Sat May 6 09:59:43 2006) 提到:
这是piranha清洗的目的吧。。。。。。
【 在 gilberte (~Green_Bean~) 的大作中提到: 】
: 发信人: gilberte (~Green_Bean~), 信区: MEMS
: 标 题: piranha清洗会不会改变热氧表面性质？
: ...................
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gilberte (~Green_Bean~) 于 (Sat May 6 10:07:24 2006) 提到:
不是为了清除有机物么？
【 在 Synthon (合成子·大家可以预定喜糖了) 的大作中提到: 】
: 这是piranha清洗的目的吧。。。。。。
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Synthon (合成子·大家可以预定喜糖了) 于 (Sat May 6 10:13:01 2006) 提到:
both啦
【 在 gilberte (~Green_Bean~) 的大作中提到: 】
: 不是为了清除有机物么？
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gilberte (~Green_Bean~) 于 (Sat May 6 10:18:04 2006) 提到:
呵呵，有没有什么方法即能比较彻底地去除表面有机物，又能保持热氧表面状态？
我是作AFM用的，希望表面干净。
piranha完了之后，再放到马浮炉中烘1000oC2h能不能使表面恢复成热氧状态？
多谢啦。
【 在 Synthon (合成子·大家可以预定喜糖了) 的大作中提到: 】
: both啦
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reninhat (大器不成☆瓦釜已久) 于 (Sat May 6 16:44:12 2006) 提到:
放到drive in的炉子里，用干法长一层SiO2不就行了。
【 在 gilberte (~Green_Bean~) 的大作中提到: 】
: 呵呵，有没有什么方法即能比较彻底地去除表面有机物，又能保持热氧表面状态？
: 我是作AFM用的，希望表面干净。
: piranha完了之后，再放到马浮炉中烘1000oC2h能不能使表面恢复成热氧状态？
: ...................
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gilberte (~Green_Bean~) 于 (Sat May 6 16:47:15 2006) 提到:
我要操作小片（4mm×4mm），我们工艺不允许小片进扩散的炉子:(
【 在 reninhat (大器不成☆瓦釜已久) 的大作中提到: 】
: 放到drive in的炉子里，用干法长一层SiO2不就行了。