怎么理解质量流量计 / 质量流量控制器的流量单位？

　　气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标
准毫升）和SLM（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种
仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量
计的重要区别，也是SCCM﹑SLM不同于mL/min﹑L/min 之处。



换算

Pa·l/s mbar·l/s Torr·l/s atm·cm3/s sccm
1Pa·l/s 1 10 7.5 9.87 59.2
1 mbar·l/s .0.1 1 0.75 0.987 59.2
1 Torr·l/s 0.133 1.33 1 1.32 78.9
1 atm·cm3/s 0.101 1.01 0.76 1 60
1 sccm 1.69×10-3 1.69×10-2 1.27×10-2 1.67×10-2 1
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FROM 10.22.11.34