据海外媒体报道，台湾金属工业研究发展中心
开发出高密度二氧化碳精密洗净系统，以满足３Ｃ、光电、精密机械等产业对精
密洗净制程的需求，并解决制品使用有机溶剂（如ＣＦＣ、ＨＣＦＣ等）所造成
的环境问题。
　　高密度二氧化碳（ＤＰＣ　ＣＯ2）精密洗净系统及设备不需废水及废液回
收处理设备，成本仅为水洗制程的一到三成。而有机溶剂，如ＣＦＣ及ＨＣＦＣ
等会破坏臭氧层并产生温室效应。氯化溶剂有毒且为致癌物质，石油系溶剂会产
生烟雾而且易燃，水洗及半水洗有废水处理问题，并消耗大量水资源及能源，免
洗制程只适用于低阶印刷电路板，干式洗净制程中，ＵＶ及臭氧清洗、等离子清
洗、激光清洗等应用范围窄，而且损伤工件表面及效率不高。半导体、光电、电
子、精密机械、金属制品等产业面临洗净溶剂被禁用却又找不到合适的替代品的
窘境。
　　金属中心说，由于３Ｃ家电及民用品日益讲究轻、薄、短、小及多功能，使
得零组件的设计朝精密化、微细化、轻量化等方向发展，除了材料与制造技术的
不断改进外，对于洁净度的要求也日趋严格，因此产业界越来越需要精密洗净技
术。（完）
（转摘自‘新华社’）
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